藍寶石長晶爐石墨配件

熱交換法(Heat Exchanger Method)
簡稱HEM 法。熱交換法是一種為了生長大尺寸藍寶石而發(fā)明的晶體生長技術。1970年Schmid和Viechnicki首先運用熱交換法生長出大塊的藍寶石晶體。其原理是利用熱交換器來帶走熱量，使得晶體生長區(qū)內形成一下冷上熱的縱向溫度梯度，同時再藉由控制熱交換器內氣體流量(He冷卻源)的大小以及改變加熱功率的高低來控制此溫度梯度，借此達成坩堝內熔湯由下慢慢向上凝固成晶體之目的，圖1為HEM法晶體生長過程簡圖。圖2 a所示為HEM爐內結構簡圖，圖3所示為HEM爐熱場配置簡圖，圖4為HEM爐鳥籠式石墨加熱器，圖5為HEM爐的電控簡圖。

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