單晶爐熱場固化氈底盤

固化氈底盤
固化氈反射板
碳碳加熱器
固化氈保溫筒
碳碳坩堝
碳碳襯套
固化氈保溫蓋板
固化氈一體導(dǎo)流筒

固化氈底盤
【產(chǎn)品材料】  使用的是固化保溫氈
【產(chǎn)品指標(biāo)】  RFI2000
【密       度】  ≤0.2g/cm3
【其       他】  金屬雜質(zhì)含量<100ppm,無揮發(fā)物，導(dǎo)熱系數(shù)<0.3w/m.k
采取熱導(dǎo)率低的碳纖維材料，降低單晶爐熱場中 的熱損失，起到隔熱保溫的作用。（低密度）

產(chǎn)品詳情
底板通常由碳纖維固化氈制成，重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢，相對于現(xiàn)有單晶爐節(jié)能可提高20%以上；同時(shí)使單晶爐中的熔硅和晶體具有較好的縱向溫度梯度，利于提高單晶硅晶體生長的成品率；結(jié)構(gòu)簡單，安裝、清理方便，提高了工作效率。
產(chǎn)品核心技術(shù)
底部保溫板為用硬氈材料制成的底座，所述底座上部中心處設(shè)有圓形凹槽，圓形凹槽的側(cè)面設(shè)有與堝托底部相適配的坡面，圓形凹槽的槽底與堝托之間設(shè)有內(nèi)腔，圓形凹槽的槽底中心處有一個(gè)堝桿安裝孔，底座側(cè)面上設(shè)有2個(gè)以上的將內(nèi)腔與外部連通的導(dǎo)氣孔，底座的底部還設(shè)有加熱器安裝孔。這樣設(shè)計(jì)的底部保溫板重量小，大大降低了成本；具有特殊結(jié)構(gòu)，不僅保溫效果好，能滿足使用要求，更增加了導(dǎo)氣孔，廢氣排放更通暢；結(jié)構(gòu)簡單，安裝、清理方便，提高了工作效率。