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產(chǎn)品中心
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固化氈一體石墨導(dǎo)流筒

 

 

 

固化氈一體導(dǎo)流筒
【產(chǎn)品材料】  使用的是固化保溫氈
【產(chǎn)品指標(biāo)】  RFI3000
【密       度】  0.25-0.45g/cm3
【其       他】  金屬雜質(zhì)含量<75ppm,無揮發(fā)物,導(dǎo)熱系數(shù)<0.4w/m.k
引導(dǎo)單晶爐內(nèi)氬氣的流動,減少了爐體上部的氬氣流動,進(jìn)而減少了SiO在單晶爐上部的沉積。導(dǎo)流筒內(nèi)外兩側(cè)分流槽的設(shè)置改變保護(hù)氣的流動形態(tài),穩(wěn)定了保護(hù)氣的流動,降低氣體的流動對單晶生長的影響,以上都有效提高了單晶生長的穩(wěn)定性,提高產(chǎn)品穩(wěn)定性

產(chǎn)品詳情
石墨導(dǎo)流筒強(qiáng)度低,導(dǎo)熱系數(shù)高,使用壽命短,成晶率低,運(yùn)輸,使用過程中易損壞,越來越難滿足直拉單晶硅生產(chǎn)中對導(dǎo)流筒使用性能和可靠性能的要求。同國內(nèi)其它廠家相比,我司生產(chǎn)的炭炭導(dǎo)流筒主要特點(diǎn)體現(xiàn)在以下兩點(diǎn):
1.梯度密度,整體設(shè)計(jì),外層密度高(1.0-1.5g/cm3),芯部密度低(﹤0.5g/cm3);
2.有利于爐體內(nèi)形成溫度梯度,利于單晶生長,抗熱震性能好,能耐氣流沖刷;
3.減少爐體上部氬氣流動渦胞,進(jìn)而減少SiO在單晶爐上部的沉積
產(chǎn)品核心技術(shù)
1.設(shè)計(jì)與制備:根據(jù)制坯所選用原材料厚度和變形性能按導(dǎo)流筒尺寸與相關(guān)參數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)建模,計(jì)算不同位置上原材料所需形狀和尺寸,合理下料,減少損耗;
2.整體導(dǎo)流筒工藝:整體性好,使用可靠性高,使用壽命長,更換操作方便,可提高成晶率,降低拉晶能耗10%以上。