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石墨熱場加熱器
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直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進(jìn)行的整個系統(tǒng)。 熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。 石墨熱場簡單的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。***常見的是18寸的石墨熱場。 東莞市捷誠石墨制品有限公司生產(chǎn)的單晶石墨熱場主要是22寸和24寸
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